本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

左起：执行董事黄朝雄先生、主席兼执行董事朱福刚博士、行政总裁兼执行董事梁海东先生及财务总监曲宁先生

2025年，国家加快发展“新质生产力”的战略部署，对环保产业赋予更高使命、开辟更广空间，环保产业迎来以科技创新驱动传统业务升级、以技术突破赋能资源高值化利用的历史性机遇。

光大绿色环保深刻把握这一发展大势，立足“清洁能源”主业特色，紧扣产业向“新质生产力”而行的升级契机，坚持对内优化存量项目运营效能与对外探索“环保+清洁能源”融合模式双轮驱动，一系列控本增效举措扎实落地。集团积极推动新兴业务示范工程加速布局，于回顾年度内，在低效无效资产处置和应收账款回收方面取得实质性突破，实现经营业绩稳中有升，持续推动集团向技术引领型环保企业转型升级，不断开创高质量发展新局面。

截至2025年12月31日，集团录得收益约港币6,729,234,000元，较2024年之港币6,976,892,000元减少4%。收益下降主要由于国内危废及固废处置市场复苏逊于预期，行业竞争激烈，处置单价持续受压，加上公司调整发展策略，建造服务收益相应减少。

尽管收益减少，光大绿色环保2025年成功扭亏为盈，录得公司权益股东应占盈利港币113,112,000元，主要归因于危废及固废处置业务市场状况趋于稳定，资产减值亏损较上年度减少，年内降本增效成果显著，以及公司发展规划取得新突破。2025年每股基本盈利为5.47港仙，较2024年之每股基本亏损20.10港仙增加25.57港仙。集团融资渠道畅通，资金充裕，各项财务指标稳健。

市场拓展方面，于回顾年度内，集团共取得8个新项目，涉及新增总投资及环境修复项目合同总金额约2.26亿元。项目规模方面，新增生物质处置量50,000吨╱年，年产生物天然气1,000万立方米，新增光伏发电装机规模2.592兆瓦，年新增蒸汽供应量约72.74万吨，售电业务年度签约电量达7.69亿千瓦时，并重点在生物质高值化、生物质供热、风力发电等方向储备一批项目。

工程建设方面，于回顾年度内，集团坚持打造集约型工程建设管理，将工程建设与项目运营需求紧密结合，工程建设能力稳步增强。

于回顾年度内，集团完工及投运项目11个。截至2025年12月31日，集团在建或执行中的项目共17个，包括3个生物质综合利用项目、13个环境修复项目及1个零碳园区项目。

集团高度重视在建项目施工安全、建造质量和建设进度，通过不断优化工程管理制度，提高施工现场管理水平，实现在建项目全年安全生产的目标。

技术研发方面，集团坚持创新驱动绿色发展，以技术突破赋能项目提质增效与公司转型升级，全力筑牢生物质高值化利用核心竞争力。

于回顾年度内，重点推进生物质水冷振动炉排炉中高温SCR高尘脱硝技术优化升级与应用、循环流化床生物质锅炉燃烧优化技术研究，在贵溪、钟祥等项目落地应用并稳定运行，实现环保与经济效益双丰收。在零碳园区建设领域，集团构建“绿色供能+数字赋能”的一体化解决方案，通过自主研发的能碳管理平台形成可复制、可推广的零碳运营模式，成果显著，助力江苏今世缘酒业股份有限公司完成“零碳工厂”认证。同时，积极布局前沿技术领域，开展秸秆干式高温厌氧发酵制沼气技术、整捆秸秆气化耦合燃烧锅炉供热技术、生物质制糖技术、零碳园区能碳管理平台及虚拟电厂交易平台开发等研究工作，为集团持续转型发展积蓄强劲新动能。

2025年，集团积极与上海交通大学、东南大学、南京工业大学、南京工程学院等高校开展产学研合作，与中国矿业大学联合申报的“常压绿色化学链合成氨技术研究”获2025年度江苏省“双碳”专项立项。

集团《典型工矿污染土壤和地下水修复技术集成与应用》获批江苏省科技进步三等奖，彰显土壤地下水修复领域的技术实力。自主知识产权储备持续增厚，于2025年获授权发明专利25项、实用新型专利12项，截至2025年12月31日，集团累计共持有授权专利134项，包括发明专利74项和实用新型专利55项，软件著作权5项。

在运营管理方面，于回顾期年度内，集团不断深化运营精细化管理，持续推进提质增效各项措施，深挖内部潜能降本增效成效卓著。

“清洁能源”主业方面，集团积极拓展供热市场，严抓燃料质量管控，进一步推进燃料成本的下降，集团供热供气量较2024年同比增长约17%，带动相关收入增加13%;生物质燃料结算费用较2024年同比少8.6%，原杆单耗同比下降2%，有效缓解成本压力;绿色增值方面，持续开拓绿证交易销售渠道，绿证(每张绿证对应1,000度绿电)交易量较2024年增长11.3倍，绿色收益能力进一步增强。

危废及固废处置方面，面对严峻的市场形势，集团采取提质增效与资产优化并重的经营管理策略，通过组织优化赋能、实施“一企一策”、极限降低生产成本，增强在运项目抗风险能力。

于回顾年度内，集团扎实推进低效无效项目处置，依法依规完成相关注销、清算工作，同步优化资源分配与经营结构，推动整体运营质量提升，其中危废处置单位营业成本显著下降，降幅超过15%。同时，集团将进一步增强危废及固废处置业务现有项目之间的市场协同效应，深度挖掘潜在客户资源，统筹推进炉渣资源化业务，推动实现炉渣资源化业务规模化发展，提升危废及固废处置业务抵御市场波动能力，力争实现止跌回稳。

据外媒报道，《无主之地3》最新宣布的扩展内容“Echocast”，将允许玩家仅用鼠标悬停方式，就可以看到装备的具体信息、与特殊战利品箱进行不同的互动等新方式。

在视频中玩家会发现，这次是“小吵闹”为大家来介绍该扩展内容的主要看点。它表示由于使用了非常高端的系统UI，现在玩家在看装备详情的时候再也不用费力了。玩家只需要将鼠标悬停于物品上就能看到所有信息，而且此次的技能树看起来也更加清晰。

另外，扩展内容“Echocast”中加入了一种全新的战利品箱，在开启这些箱子之前，系统会随机选择一位玩家，被选中的玩家能够从箱子中选择一款战利品，确认选择之后，他们的背包就会出现这款战利品。

《无主之地3》将于2019年9月13日发售，登陆PS4、PC和Xbox one平台。

当被问三个孩子不会偏心吗？她在评论区回应：三个孩子都100分的爱。

此前报道：

10月22日，郭富城宣布三胎女儿出生。随后，妻子方媛转发回应：感谢老公，性别从不是我们爱的条件。

郭富城发文：我们的小公主终于到家了！母女平安，感恩所有。我们家现在拥有三颗璀璨的明珠，我感到无比幸福和富足。姐姐们已经迫不及待地要照顾妹妹了，对我来说，无论是儿子还是女儿都是上天赐予我最珍贵的礼物。我们家就是女神之家”，我是全世界最幸运的男士，被四位女神深深的爱着。请大家和我们一起，欢迎这个美丽的新生命，祝福她健康快乐地成长。

方媛转发：“欢迎我们的小宝贝，看着老公抱着她，眼里依然闪烁着和第一次当爸爸时一样兴奋和宠溺的光芒，就知道，我们拥有的是最纯粹的爱。感谢老公，性别从不是我们爱的条件，健康、快乐、善良，才是我们给女儿们最好的礼物。谢谢大家一直以来的关心。”

10月26日，方媛生完三胎后首度现身为老公郭富城庆生。合照中她与郭富城甜蜜比心，面带笑容，毫无疲惫感。

2015年郭富城在微博公开和方媛的恋情，2017年正式成婚，婚后生下两个女儿。

2025年4月18日晚，郭富城、方媛在社交平台上发文庆祝结婚八周年。郭富城发文称：“亲爱的老婆@ 方媛Moka时光为证，爱如初见。结婚八周年快乐”，随后，方媛转发该内容并表示：“亲爱的老公@ 郭富城八年不是把爱过成习惯，而是把习惯过成新的心动～结婚八周年快乐！”

走进巧家县玉屏街道中心小学，运动场上乒乓球、篮球、游泳等社团活动火热开展，学生在运动中尽情释放活力；心理辅导室内，专业的心理疏导温暖进行，为学生的心灵保驾护航。这正是巧家县坚守“健康第一”教育理念，以“运动赋能+心理护航”守护青少年成长的生动缩影。

“我特别喜欢篮球运动，学校篮球运动氛围特别浓。”玉屏街道中心小学五年级学生李昀泽说，作为校篮球队成员，他每天在专业教练指导下训练，全力备战赛事。班主任喻正清表示，体育社团活动不仅增强了学生的体质，更提升了其团队意识与抗挫能力，让学生更加阳光自信。

在关注身体健康的同时，巧家县同步呵护青少年心灵成长。玉屏街道中心小学心理教师通过谈心、游戏等方式化解学生成长困惑，学校建立完善的心理健康管理体系，实现日常排查、分级干预全覆盖。

巧家县各学校每年开展学生心理健康排查，将心理疏导融入日常；同时落实“每天锻炼2小时”要求，开足体育课，以“一校一品、一校多特”为抓手，让每个学生掌握1—2项运动技能。

如今，从特殊教育学校的特奥融合足球队屡获大奖，到普通中小学特色体育社团蓬勃发展，巧家县以全方位健康教育举措，让“健康第一”理念落地生根，助力少年儿童身心和谐发展、向阳生长。

通讯员：余庆德 马威 王先员 文/图